发明名称 Vakuumpumpe sowie Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe
摘要 Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Drehschieberpumpe, mit einem Pumpengehäuse (10), die in einem Schöpfraum (12) angeordnet ist. In dem Schöpfraum (12) ist eine Förderelement (14, 16) angeordnet. An einem Einlass (22) des Schöpfraums (12) ist eine Rückschlagventil (28) vorgesehen. Zum Schließen des Rückschlagventils (28) bei im Bereich des Einlasses (22) herrschenden, niedrigen Drücken ist neben einer Spiralfeder (34), eine Fluideinrichtung (36) angeordnet. Beim Ausschalten der Vakuumpumpe erfolgt ein Verschieben eines Schaltkolbens (40) in eine Stellung, in der durch den Zuführkanal (42) in den Verbindungskanal (38) Fluid strömt, das sodann durch Einströmen in den Einlasskanal (42) das Rückschlagventil (28) schließt.
申请公布号 DE102013210854(A1) 申请公布日期 2014.12.11
申请号 DE201310210854 申请日期 2013.06.11
申请人 OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH 发明人 DESPESSE, CHRISTOPHE
分类号 F04C18/344 主分类号 F04C18/344
代理机构 代理人
主权项
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