可提升薄膜均匀度之线性蒸镀装置

摘要

一种可提升薄膜均匀度之线性蒸镀装置，具有一绝热腔体、复数个坩锅、复数个镀材加热器及一混合腔体，该等坩锅、镀材加热器及该混合腔体皆设于绝热腔体中，其特征在于，混合腔体内相距该等坩锅由近至远依序设有一限流调整层、一流道调整件、一混合层及一线性蒸镀层，其中限流调整层系为矩形片状体，并对应各该坩锅位置分设有复数个限流孔；流道调整件系为连通结构，且具有至少一流入口及至少一流出口，流入口系对应部分该等限流孔位置设置；混合层系为略呈I字型之片状体结构；线性蒸镀层系为矩形片状体，并开设有由两端至中间位置呈渐缩态样之一线源蒸镀开口，藉此可提升蒸镀薄膜之成分均匀度。

主权项

一种可提升薄膜均匀度之线性蒸镀装置，具有一绝热腔体、复数个坩锅、复数个镀材加热器及一混合腔体；该等坩锅、该等镀材加热器及该混合腔体系皆设于该绝热腔体中，且该等镀材加热器系分别套设于该等坩锅外供以加热，该混合腔体则连通设于该等坩锅之开口处，其特征在于：该混合腔体内相距该等坩锅由近至远依序设有一限流调整层、一流道调整件、一混合层及一线性蒸镀层；其中该限流调整层系为矩形片状体，并对应各该坩锅位置分设有复数个限流孔；该流道调整件系为连通结构，且具有至少一流入口及至少一流出口，该流入口系对应部分该等限流孔位置设置；该混合层系为略呈I字型之片状体结构；该线性蒸镀层系为矩形片状体，并开设有由两端至中间位置呈渐缩态样之一线源蒸镀开口。