用于测量物体高度及获得其对焦图像的装置与方法

摘要

本发明公开了一种用于测量物体平面的高度或物体上多个点的高度的装置，该装置包含有：成像系统，其具有经过成像系统的焦点的焦平面，其中该成像系统的焦平面相对于物体平面以成斜角的方式被斜置，以致于仅仅该物体平面的细小局部处于对焦中。可供选择的是，在成像系统和物体相对移动过程中，该焦平面以相对于成像系统的扫描方向成斜角的方式被斜置。

主权项

一种用于测量物体平面的高度的装置，该装置包含有：成像系统，其具有一光学轴以及经过成像系统的焦点的焦平面，其中该成像系统另包含有一影像感测器在一影像平面上，由该影像感测器所接收之一影像系成像于该影像平面上，以使得该成像系统之该光学轴正交于该影像平面，并且该成像系统的焦平面相对于物体平面以成斜角的方式被斜置，以致于仅仅该物体平面的局部处于对焦中。