| 摘要 |
<p>본 발명에 따른 방법은 막의 표면에 스크래치를 만들지 않으면서 대상물 상에 형성된 막의 표면레벨차이(불규칙성)을 효과적으로 제거할 수 있고, 생산성을 크게 높이면서 상기 막을 평탄면으로 폴리싱 및 제거할 수 있다. 상기 방법은 폴리싱패드와 대상물을 서로에 대해 제1상대속도로 이동시키면서, 상기 대상물의 반경보다 작은 직경을 갖는 폴리싱장치의 폴리싱패드를 상기 대상물의 표면에 대해 제1압력으로 가압시켜 제1폴리싱단계를 실시하는 단계를 포함하여 이루어진다. 상기 제1폴리싱단계는 상기 대상물의 표면레벨차이가 목표레벨까지 소거되는 시점에 종료된다. 상기 방법은 상기 폴리싱패드와 상기 대상물을 서로에 대해 제2상대속도로 이동시키면서, 대상물의 직경보다 큰 직경을 갖는 폴리싱장치의 폴리싱패드를 상기 대상물의 표면에 대해 제2압력으로 가압시켜 제2폴리싱단계를 실시하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.</p> |
