发明名称 磺醯基光酸产生剂及含该光酸产生剂之光阻
摘要 本发明系提供新颖之双(磺醯基)亚胺化物及参(磺醯基)甲基化物光酸产生剂化合物(PAG)以及包含此等PAG化合物之光阻组成物。
申请公布号 TWI464141 申请公布日期 2014.12.11
申请号 TW099143637 申请日期 2010.12.14
申请人 罗门哈斯电子材料有限公司 美国 发明人 刘琮;徐承柏
分类号 C07C313/04;G03F7/004;H01L21/027 主分类号 C07C313/04
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项 一种下式I之光酸产生剂化合物:其中,W与Y系个别独立为氢、氟、视需要经取代之氟烷基;视需要经取代之氟烷氧基;或视需要经取代之氟碳环系芳基;W'与Y'系个别独立与W及Y之定义相同;W"与Y"系个别独立与W及Y之定义相同;n、n'及n"系个别相同或不同,且个别为1至15的正整数;U、U'及U"系个别相同或不同,且个别为选自由化学键及视需要经取代之伸烷基所组成之群组的连接基;R、R'及R"系个别相同或不同,且个别为视需要经取代之碳脂环族基、视需要经取代之杂脂环族基、视需要经取代之碳环系芳基或视需要经取代之杂芳族基;以及X+系相对离子。
地址 美国