静压气体轴承及使用该静压气体轴承的直动引导装置

摘要

静压气体轴承(1)包括轴承基体(2)、轴承体(3)和自激振动衰减机构(A)，所述轴承基体(2)包括：从基部(4)的一方的面与基部(4)一体地突出设置的环状突出部(6)；以及一端在环状突出部(6)的突出端面开口而另一端在基部(4)的外周面开口的供气通路(11)，所述轴承体(3)具有对轴承基体(2)的环状突出部(6)进行收容的环状凹处(33)以及与环状凹槽(33)连通的多个空气吹出孔(38)，所述自激振动衰减机构(A)使因经由环状凹槽(33)从空气吹出孔(38)将空气吹出而引发的自激振动衰减。

主权项

一种静压气体轴承，其特征在于，包括：合成树脂制的轴承基体，该轴承基体包括基部、环状突出部和供气通路，所述环状突出部从所述基部的一方的面与该一方的面一体地突出设置，所述供气通路的一端在所述环状突出部的突出端面开口，而另一端在基部的外周面开口，并且该供气通路设置在基部及环状突出部中；合成树脂制的轴承体，该轴承体分别具有环状凹处、环状凹槽和作为自成孔式节流器的多个空气吹出孔，所述环状凹处形成在与基部的一方的面面对的一方的面上，并且对轴承基体的环状突出部进行收容，所述环状凹槽在另一方的面上开口，多个所述空气吹出孔的一端与环状凹槽连通，并且另一端在环状凹处开口；以及自激振动衰减机构，该自激振动衰减机构使因经由环状凹槽从空气吹出孔将空气吹出而发生的自激振动衰减，轴承体在形成环状凹处的轴承体的外侧圆周面及内侧圆周面与环状突出部的外周面及内周面焊接接合而与轴承基体形成为一体，自激振动衰减机构包括空气室和至少一个节流孔，所述空气室形成于轴承基体或轴承体，或利用轴承基体及轴承体的协同作用形成，所述节流孔的一端与该空气室连通，而另一端在轴承体的另一方的面开口。