一种镂空空腔型薄膜体声波谐振器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种镂空空腔型薄膜体声波谐振器及其制作方法，该声波谐振器包括硅衬底、牺牲层和压电薄膜换能器堆叠结构，压电薄膜换能器堆叠结构从下往上依次包括支撑层、底电极、压电层、顶电极；压电薄膜换能器堆叠结构被释放窗口阵列贯穿，释放窗口阵列形成了释放通道；牺牲层中间设置有中空部分，该中空部分与下面的硅衬底和上面的支撑层形成空气腔；空气腔通过释放位于硅衬底正面的牺牲层形成，其释放通道由贯穿压电薄膜换能器堆叠结构的释放窗口阵列组成；根据该FBAR气隙的功能和结构特征，本发明制作方法有利于改进其可制造性，并且能够快速、干净的形成空腔，减小芯片尺寸。

主权项

一种镂空空腔型薄膜体声波谐振器，其特征在于：包括硅衬底、牺牲层和压电薄膜换能器堆叠结构，压电薄膜换能器堆叠结构从下往上依次包括支撑层、底电极、压电层、顶电极；所述压电薄膜换能器堆叠结构被释放窗口阵列贯穿，释放窗口阵列形成了释放通道；所述牺牲层中间设置有中空部分，该中空部分与下面的硅衬底和上面的支撑层形成空气腔。