一种图形转移的压印式微型半球谐振陀螺及其制备方法

摘要

本发明提供了一种图形转移的压印式微型半球谐振陀螺及其制备方法，所述陀螺包括一个长方体硅基底、一个半球壳式谐振子、一个支撑半球壳式谐振子的支撑柱、八个通过离子掺杂形成的电极，其中八个电极环绕谐振子均匀分布配置，包含四个驱动电极和四个检测电极，并通过金属引线连接至引脚处；通过在对应引脚处施加正负电压，驱动电极和检测电极可以实现静电驱动与检测。所述半球壳谐振子采用图形转移的压印方式制成。本发明采用MEMS工艺加工，结构简单、体积小、精度较高，极具发展前景。

主权项

一种图形转移的压印式微型半球谐振陀螺，其特征在于，包括：一个长方体硅基底；一个半球壳式中央谐振子；一个支撑半球壳式中央谐振子的支撑柱；八个通过离子掺杂形成的电极，包含四个驱动电极和四个检测电极；其中，驱动电极与半球壳式中央谐振子均为非接触，检测电极与半球壳式中央谐振子均为非接触，且四个驱动电极的空间位置与四个检测电极的空间位置依次间隔分布；四个所述驱动电极在中央谐振子外围的长方体硅基底上依次间隔分配布置，用于激励中央谐振子产生驱动模态振型，当四个所述驱动电极中的两个相对的驱动电极被施加交流电压时，由电容感应效应产生半球壳式中央谐振子在驱动模态的振动；当存在输入角速度时，半球壳式中央谐振子的振型向检测模态转变，利用检测电极处电容感应效应产生的敏感电信号进行信号检测；所述述驱动模态和检测模态互相匹配。