发明名称 具有纳米线的光电子半导体结构以及制造这种结构的方法
摘要 本发明涉及一种光电子半导体结构(100),所述光电子半导体结构(100)包括:包括第一表面(111)的半导体基底(110)、成核层(120)和与所述成核层接触的纳米线(160),所述成核层(120)由禁能带高于5eV的宽禁带半导体形成。所述成核层(120)覆盖所述第一表面(111)的被称为成核部分的部分,所述第一表面(111)的不被所述成核层(120)覆盖的部分(114)被称为自由部分。所述结构还包括与所述基底(110)的自由部分(114)接触的导电层(141),所述导电层还围绕所述纳米线(160)的外周与所述纳米线接触。本发明还涉及这种结构(100)的制造方法。
申请公布号 CN104203807A 申请公布日期 2014.12.10
申请号 CN201380018641.3 申请日期 2013.03.29
申请人 原子能和替代能源委员会 发明人 艾米丽·帕格瓦兹;安-罗兰·贝文寇;威廉·范登艾利
分类号 B82Y10/00(2006.01)I;B82Y99/00(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L33/04(2006.01)I;H01L33/24(2006.01)I;H01L33/38(2006.01)I 主分类号 B82Y10/00(2006.01)I
代理机构 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人 武晨燕;徐川
主权项 一种光电子半导体结构(100),包括:‑具有第一表面和第二表面(111,112)的半导体基底(110),‑与所述基底(110)的第一表面(111)接触的成核层(120),所述成核层为具有高于5eV的禁能带的宽禁带半导体,纳米线(130)与所述成核层接触,其中,所述结构(100)的特征在于,所述成核层(120)由至少一个垫形成并且在所述第一表面(111)的被称为“成核”表面的部分(113)上覆盖所述基底(110)的第一表面(111),其中,所述第一表面(111)的不被所述成核层(120)覆盖的部分(114)被称为“自由”部分,其中,所述结构还包括与所述基底(110)的自由部分(114)接触的导电层(141),并且其中,所述导电层还在所述纳米线(130)的外周上与所述纳米线接触。
地址 法国巴黎