固态图像传感器和成像系统

摘要

本发明公开了固态图像传感器和成像系统，包括光电转换元件的固态图像传感器包括：第一绝缘膜，第一绝缘膜布置在半导体基板上并且具有布置在相应元件上的开口；绝缘体部分，所述绝缘体部分具有高于第一绝缘膜的折射率的折射率并且布置在相应开口内；第二绝缘膜，第二绝缘膜布置在所述绝缘体部分的上表面和第一绝缘膜的上表面上；和第三绝缘膜，第三绝缘膜具有低于第二绝缘膜的折射率的折射率，并且被与第二绝缘膜的上表面接触地布置，其中令λ是入射光的波长，n是第二绝缘膜的折射率，并且t是第二绝缘膜在第一绝缘膜的上表面上的区域的至少一部分中的厚度，满足关系t＜λ/n。

主权项

一种固态图像传感器，包括包含多个光电转换元件的半导体基板，该传感器包括：第一绝缘膜，第一绝缘膜布置在半导体基板上，并且具有多个开口，所述多个开口中的每一个布置在所述多个光电转换元件中的一个光电转换元件上；多个绝缘体部分，所述多个绝缘体部分具有高于第一绝缘膜的折射率的折射率，所述多个绝缘体部分中的每一个布置在所述多个开口中的一个开口中；第二绝缘膜，第二绝缘膜布置在所述多个绝缘体部分的上表面和第一绝缘膜的上表面上；和第三绝缘膜，第三绝缘膜具有低于第二绝缘膜的折射率的折射率，并且被布置为与第二绝缘膜的上表面接触，其中令λ是进入所述多个绝缘体部分的光的波长，n是第二绝缘膜的折射率，并且t是在第一绝缘膜的上表面上的区域的至少一部分中的第二绝缘膜的厚度，则满足关系t＜λ/n，以及其中第二绝缘膜的上表面是平滑连续的表面，以及其中所述固态图像传感器还包括：第三绝缘膜上的滤色器。