发明名称 微小電子機械部品ミラー駆動装置、プロジェクタ及び駆動回路
摘要
申请公布号 JP5640122(B2) 申请公布日期 2014.12.10
申请号 JP20130164757 申请日期 2013.08.08
申请人 发明人
分类号 G02B26/10;G09G3/20;G09G3/34 主分类号 G02B26/10
代理机构 代理人
主权项
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