发明名称 用于高真空镀膜机锌炉加热器的冷却挡板
摘要 本发明涉及金属化膜的镀膜设备,公开了一种用于高真空镀膜机锌炉加热器的冷却挡板,挡板外壁上开有用来容纳铜管的呈盘形弯曲的安装槽,安装槽的进、出口设置在挡板侧壁上;安装槽内固定有铜管,铜管与安装槽壁采用锡料焊接固定,铜管的进、出口端沿安装槽进、出口位置延伸至挡板外部,铜管的进、出口端分别固定有管接头。选择在铝材挡板内安装铜管,具有耐腐蚀性好,使用寿命长的优点,不仅解决了冷却挡板组件因冷却水腐蚀水路而产生泄露问题,可提高镀膜机的开机利用率。
申请公布号 CN104195511A 申请公布日期 2014.12.10
申请号 CN201410456265.2 申请日期 2014.09.09
申请人 安徽铜峰电子股份有限公司 发明人 束长青;朱永伦;钱泽友;俞群力
分类号 C23C14/24(2006.01)I 主分类号 C23C14/24(2006.01)I
代理机构 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 代理人 王挺
主权项 用于高真空镀膜机锌炉加热器的冷却挡板,其特征在于:挡板(3)外壁上开有用来容纳铜管(4)的呈盘形弯曲的安装槽(5),安装槽(5)的进、出口设置在挡板(3)侧壁上;安装槽(5)内固定有铜管(4),铜管(4)与安装槽(5)壁采用锡料(6)焊接固定,铜管(4)的进、出口端沿安装槽(5)进、出口位置延伸至挡板(3)外部,铜管(4)的进、出口端分别固定有管接头(1、2)。
地址 244000 安徽省铜陵市经济技术开发区铜峰工业园