| 摘要 |
本实用新型涉及一种激光光束漂移量分离检测分析系统，要包括激光器(1)、光纤耦合器(2)、单模光纤(3)、准直器(4)、第一凸透镜(5)、刀口(6)、第二凸透镜(7)、平行镜组(8)、角反射镜(9)、第一分光镜(10)、第二分光镜(11)、第一四象限光电探测器(12)、第二四象限光电探测器(13)、二维微位移工作台(16)、X向压电陶瓷(17)和Y向压电陶瓷(18)，其中，平行镜组(8)和角反射镜(9)分别对应设置有相应的二维微位移工作台(16)，每个二维微位移工作台(16)分别连接对应的X向压电陶瓷(17)和Y向压电陶瓷(18)。本实用新型提供的激光光束漂移量分离检测分析系统通过压电陶瓷驱动电源和压电陶瓷驱动对应的二维转动机构，对二维组平行镜进行调整，使激光束向平漂减小的方向转动，这样实现了对激光束平漂和角漂的抑制。 |
