一种清理工具

摘要

本实用新型提供一种清理工具，所述清理工具包含刀片和粘附于所述刀片工作区域的百洁布。所述刀片设有工作区域，所述百洁布粘附于所述刀片的工作区域内，且所述百洁布的大小与所述刀片工作区域的大小一致，避免了因百洁布过大而对静电吸盘其他部位造成损害；同时，形成的百洁布工作区域与静电吸盘的外形轮廓相匹配，可以彻底地清除静电吸盘边缘的等离子体；刀片还设有刀锋区域，可以对百洁布难以清理到的静电吸盘的边角缝隙进行清理；所述清洁工具外形小巧，可以在狭小的工作空间内灵活使用，大大提高了工作效率。

主权项

一种清理工具，适于清理静电吸盘边缘堆积粘附的等离子体，所述静电吸盘包含第一圆柱体和第二圆柱体，所述第二圆柱体位于所述第一圆柱体的上表面，且所述第一圆柱体的半径大于所述第二圆柱体的半径，其特征在于，所述清理工具至少包含：刀片和百洁布；所述刀片包含第一端、第二端、第一侧和第二侧，所述第一端靠近所述第一侧的部分和所述第一侧靠近所述第一端的部分设有刀片工作区域，所述刀片工作区域的宽度等于所述刀片的厚度；所述百洁布粘附于所述刀片工作区域内，形成对应的百洁布工作区域，所述百洁布工作区域包含：第一百洁布工作区域、第二百洁布工作区域、第三百洁布工作区域和第四百洁布工作区域；所述第一百洁布工作区域、第二百洁布工作区域、第三百洁布工作区域和第四百洁布工作区域依次接触连接；所述第一百洁布工作区域的高度小于或等于所述第一圆柱体的高度；所述第二百洁布工作区域的长度等于所述第一圆柱体和所述第二圆柱体的半径之差；所述第三百洁布工作区域的高度等于所述第二圆柱体的高度。