压力调控薄膜晶体管及其应用

摘要

一种压力调控薄膜晶体管，其包括：一源极；一与该源极间隔设置的漏极；一半导体层，该半导体层与所述源极和漏极电连接；以及一栅极，该栅极通过一绝缘层与所述半导体层、源极及漏极绝缘设置；其中，所述绝缘层为一高分子材料层，该高分子材料层的弹性模量为0.1兆帕至10兆帕，在所述绝缘层上施加一垂直于所述绝缘层的压力，该压力导致所述绝缘层的厚度发生变化，所述栅极电容与该厚度成反比，所述源极和漏极之间的电流与该栅极电容成正比。本发明还涉及一应用该压力调控薄膜晶体管的压力感应装置。

主权项

一种压力调控薄膜晶体管，其包括：一源极；一与该源极间隔设置的漏极；一半导体层，该半导体层与所述源极和漏极电连接；以及一栅极，该栅极通过一绝缘层与所述半导体层、源极及漏极绝缘设置；其中，所述绝缘层为一高分子材料层，该高分子材料层的弹性模量为0.1兆帕至10兆帕，所述压力调控薄膜晶体管使用时，在所述绝缘层上施加一垂直于所述绝缘层的压力，该压力导致所述绝缘层的厚度发生变化，所述栅极具有一电容，该电容与所述绝缘层的厚度成反比，所述源极和漏极之间具有一电流，该电流与该栅极的电容成正比，所述绝缘层的厚度为1纳米至10微米。