研磨材料再生方法

摘要

本发明的课题在于提供一种研磨材料再生方法，可以通过有效的方法由使用过的研磨材料回收研磨材料，然后通过简易的方法得到高纯度的再生研磨材料。本发明的研磨材料再生方法是由使用过的研磨材料浆料再生该研磨材料浆料所含的研磨材料的研磨材料再生方法，该研磨材料为选自金刚石、氮化硼、碳化硅、氧化铝、氧化铝-氧化锆及氧化锆的至少一种研磨材料，且经由下述工序A～C再生研磨材料，回收从研磨机排出的研磨材料浆料的浆料回收工序A；向回收的研磨材料浆料添加作为无机盐的碱土金属盐使研磨材料凝聚，并将该研磨材料从母液分离浓缩的分离浓缩工序B及回收该分离浓缩的研磨材料的研磨材料回收工序C。

主权项

一种研磨材料再生方法，其从使用过的研磨材料浆料中再生该研磨材料浆料所含的研磨材料，所述研磨材料再生方法中，该研磨材料是选自下述研磨材料组中的至少一种研磨材料，且经由下述工序A～C再生该研磨材料，工序A：回收从研磨机排出的研磨材料浆料的浆料回收工序A，工序B：向该回收得到的研磨材料浆料中添加作为无机盐的碱土金属盐使研磨材料凝聚，并将该研磨材料从母液分离并浓缩的分离浓缩工序B，工序C：回收该分离浓缩得到的研磨材料的研磨材料回收工序C，研磨材料组：金刚石、氮化硼、碳化硅、氧化铝、氧化铝‑氧化锆及氧化锆。