一种压差式密封电极

摘要

本实用新型公开了一种压差式密封电极，包括大气外部电极、大气侧锁紧装置、密封圈、内密封套、唇形密封圈、钢圈挡圈弹簧、墙板、真空室内电极、真空内部锁紧装置和真空外部锁紧装置，所述大气外部电极上设有钢圈挡圈弹簧，所述大气侧锁紧装置与墙板连接，所述密封圈设置在内密封套内，所述唇形密封圈固定在墙板上，所述真空室内电极与大气外部电极连接，所述真空内部锁紧装置下端安装在墙板内，所述真空外部锁紧装置设置在大气侧锁紧装置内，下端与墙板连接。本实用新型通过真空舱体内外的压差作为动力，保证电极顶夹坩埚的所需的作用力，解决了顶夹坩埚受力的要求，同时解决了开舱排除故障的成本和麻烦。

主权项

一种压差式密封电极，其特征在于：包括大气外部电极、大气侧锁紧装置、密封圈、内密封套、唇形密封圈、钢圈挡圈弹簧、墙板、真空室内电极、真空内部锁紧装置和真空外部锁紧装置，所述大气外部电极上设有钢圈挡圈弹簧，所述大气侧锁紧装置与墙板连接，所述密封圈设置在内密封套内，所述唇形密封圈固定在墙板上，所述真空室内电极与大气外部电极连接，所述真空内部锁紧装置下端安装在墙板内，所述真空外部锁紧装置设置在大气侧锁紧装置内，下端与墙板连接。