研磨垫调整器和化学机械研磨装置

摘要

本实用新型提供一种研磨垫调整器，其至少包括：调整头、清洁刷；所述清洁刷设于所述调整头的外侧壁上。本实用新型的研磨垫调整器，结构简单，通过在调整头的外侧壁上套设清洁刷，在调整头与研磨头距离较近时，清洁刷能够对研磨头的定位环表面进行清洁；另外，清洁刷的刷毛分布均匀，清洁效果好，使晶圆免受粘附在定位环表面的研磨液结晶影响，从而提升了产品良率。此外，本实用新型还提供一种化学机械研磨装置，采用具有清洁刷的研磨垫调整器，在对晶圆进行化学机械研磨的过程中，能够及时去除飞溅到研磨头的定位环表面的研磨液，快速有效，无需经常清洗研磨头，保证了研磨头的正常工作时间，从而保证了每小时的晶圆出产量。

主权项

一种研磨垫调整器，其特征在于，所述研磨垫调整器至少包括：调整头、清洁刷；所述清洁刷设于所述调整头的外侧壁上。