旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材

摘要

旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材，属于溅射镀膜的关键工艺装备。本实用新型的旋转阴极磁棒包括磁棒支架及分布在其表面的磁铁，所述磁铁包括设置在所述磁棒支架端部区的均有按照至少一种排列曲率分布的第一组磁铁；以及设置在所述磁棒支架中部区的第二组磁铁；所述第一、第二组磁铁由多块方形磁铁组成。本实用新型的旋转靶材包括设置在所述靶材内部的靶材背管和靶材背管内部的一根或两根所述旋转阴极磁棒，按照圆弧轮廓排列的第一、第二组磁铁的圆弧面半径小于靶材背管的内表面圆弧面半径。本实用新型的旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材能精确控制磁场强度分布以降低靶材端部蚀刻槽深度，提高靶材使用率。

主权项

旋转阴极磁棒，包括磁棒支架及分布在其表面的磁铁，其特征在于，所述磁铁包括设置在所述磁棒支架端部区的有按照至少一种排列曲率分布的第一组磁铁；以及设置在所述磁棒支架中部区的第二组磁铁；所述第一、第二组磁铁由多块方形磁铁组成。