等离子体光源

摘要

本发明的等离子体光源具备：相向配置的1对同轴状电极（10）、放电环境保持装置（20）以及电压施加装置（30）。各同轴状电极（10）包括：中心电极（12）；包围中心电极的相向的顶端部的引导电极（14）；以及使中心电极和引导电极之间绝缘的绝缘构件（16）。绝缘构件（16）是包括绝缘性致密部分（16a）和多孔质部分（16b）的局部多孔陶瓷。此外绝缘性致密部分（16a）具有在内部保有等离子体介质的贮存器（18），多孔质部分（16b）通过绝缘性致密部分（16a）的内部对贮存器（18）的内表面和中心电极（12）与引导电极（14）间进行连通。

主权项

一种等离子体光源，具备：相向配置的1对同轴状电极；放电环境保持装置，将该同轴状电极内的等离子体介质保持成适于等离子体产生的温度和压力；以及电压施加装置，对各同轴状电极施加使极性反转了的放电电压，该等离子体光源在1对同轴状电极之间形成管状放电，在轴方向封闭等离子体，其特征在于，所述各同轴状电极包括：棒状的中心电极，在单一的轴线上延伸；引导电极，隔开固定的间隔包围该中心电极的相向的顶端部；以及绝缘构件，使所述中心电极和引导电极之间绝缘，该绝缘构件是包括液化的等离子体介质不能连续地浸透的绝缘性致密部分和液化的等离子体介质连续地浸透的多孔质部分的局部多孔陶瓷，所述绝缘性致密部分具有在内部保有等离子体介质的贮存器，所述多孔质部分通过绝缘性致密部分的内部对所述贮存器的内表面和中心电极与引导电极间进行连通，所述电压施加装置具有：正电压源，对一方的同轴状电极的中心电极施加比其引导电极高的正的放电电压；以及负电压源，对另一方的同轴状电极的中心电极施加比其引导电极低的负的放电电压。