裸片供给装置

摘要

本发明将切割片(34)上的裸片(31)中的由相机(42)拍摄的裸片(31)(以下称作“拍摄裸片”)例如间隔一个裸片(或间隔多个裸片)地间歇地设定，对于拍摄裸片，利用图像处理对该拍摄裸片的位置进行识别，从而执行该拍摄裸片的顶起动作以及吸附动作，对于没有由相机(42)拍摄的裸片(31)(以下称作“非拍摄裸片”)，以相邻的上次拍摄结束后的拍摄裸片的识别位置为基准而对该非拍摄裸片的位置进行推定，而执行该非拍摄裸片的顶起动作以及吸附动作。

主权项

一种裸片供给装置，具备：晶片张设体，张设有切割片，所述切割片粘贴有以分割为多个裸片的方式被切割的晶片且能够伸缩；及顶起机构，使配置于所述切割片的下方的顶起销上下移动，在使吸嘴下降而吸附并拾取所述切割片上的裸片时，所述裸片供给装置利用所述顶起销将所述切割片中的所要吸附的裸片的粘贴部分顶起而将所述裸片的粘贴部分从所述切割片剥离，将所述裸片吸附于所述吸嘴而从所述切割片进行拾取，所述裸片供给装置的特征在于，具备图像处理单元，所述图像处理单元对由相机拍摄所述切割片上的裸片而得到的图像进行处理而对所述裸片的位置进行识别，在所述切割片上的裸片中，间隔一个或多个裸片地设定由所述相机拍摄的裸片(以下称作“拍摄裸片”)，对于所述拍摄裸片，利用所述图像处理单元对所述拍摄裸片的位置进行识别而执行所述拍摄裸片的顶起动作及吸附动作，对于没有由所述相机拍摄的裸片(以下称作“非拍摄裸片”)，以所述拍摄裸片的识别位置为基准而对所述非拍摄裸片的位置进行推定，而执行所述非拍摄裸片的顶起动作及吸附动作。