发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要 在使用金属纳米粒子对导电柱(8)和被接合构件即半导体芯片(6)或带导电图案的绝缘基板(4)进行金属粒子接合的情况下,通过将导电柱(8)的前端的底面(12)形成为凹状,从而能获得牢固的接合层。
申请公布号 CN104205328A 申请公布日期 2014.12.10
申请号 CN201380012403.1 申请日期 2013.02.13
申请人 富士电机株式会社 发明人 梨子田典弘
分类号 H01L23/48(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L25/07(2006.01)I;H01L25/18(2006.01)I;H05K1/18(2006.01)I 主分类号 H01L23/48(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 俞丹
主权项 一种半导体装置,具有半导体芯片和导电连接体,其特征在于,在固定于被接合材料的导电连接体的前端的底面形成有凹部,在该凹部中使用金属纳米粒子来与被接合材料相接合。
地址 日本神奈川县