复合射频(RF)波形的匹配电路

摘要

披露一种复合波形频率匹配装置。在各实施方式中，该匹配装置包含彼此并联耦合的多个射频发生器。该多个射频发生器的每个随后的射频发生器都被配置为产生谐波频率，该谐波频率与任何产生更低频率的射频发生器所产生的频率以整数倍的形式相关，从而产生复合波形。多个分频器电路耦合于该多个射频发生器的输出，而多个匹配网络中的每一个都具有耦合于该多个分频器电路之一的输出的输入以及被配置为耦合于等离子体室的输出。

主权项

一种复合波形频率匹配装置，包含： 彼此并联耦合的多个射频发生器，所述多个射频发生器的每个随后的射频发生器都被配置为产生谐波频率，所述谐波频率与任何产生更低频率的射频发生器所产生的频率以整数倍的形式相关，从而产生由许多同时产生的谐波频率组成的复合波形； 耦合于所述多个射频发生器的输出的多个分频器电路，该多个分频器电路将该复合波形分裂为成分谐波频率； 多个匹配网络，所述多个匹配网络中的每一个都具有耦合于所述多个分频器电路之一的输出的输入以及被配置为耦合于等离子体室的输出；以及 耦合于所述多个射频发生器的输出和所述多个分频器电路的输入之间的电阻元件，所述电阻元件被选择为允许所述多个分频器电路中的每一个实现高Q值。