晶圆测试探针卡

摘要

本发明公开一种晶圆测试探针卡，其包括底座、多个焊接位、摆针部、第一探针组及第二探针组，多个焊接位设于底座的特定位置，摆针部设于底座上，第一探针组及第二探针组并排设于连接部上，底座、连接部及并排设置的第一探针组、第二探针组形成三层堆栈结构。本发明通过将探针卡的摆针位置设计成足够摆放两组探针的空间，以达到能同时测试两颗晶圆的效果，提高生产效益，进而达到公司降低成本，增加营利的目的。

主权项

一种晶圆测试探针卡，其包括底座、多个焊接位、摆针部及第一探针组，其特征在于，所述晶圆测试探针卡进一步包括第二探针组，多个焊接位设于底座的特定位置，摆针部设于底座上，第一探针组及第二探针组并排设于连接部上，底座、连接部及并排设置的第一探针组、第二探针组形成三层堆栈结构，所述第一探针组和第二探针组同时接触两颗驱动 IC。