具有自适应聚焦的高速光学检查系统

摘要

本发明提供了一种用于检查基板(10)的光学检查系统(41，42，43，44，45)。所述系统(41，42，43，44，45)包括照相机(2A-2H)的阵列(4)，所述照相机(2A-2H)的阵列(4)被构造成在所述基板(10)和所述阵列(4)相对于彼此进行相对运动时获取多组图像。至少一个聚焦致动器(9A-9H)可操作地连接到照相机(2A-2H)的阵列(4)的每一个照相机(2A-2H)，以使影响聚焦的每一个照相机(2A-2H)的至少一部分移动。基板范围计算器(16)被构造成从所述阵列(4)接收至少一部分图像并计算照相机(2A-2H)的阵列(4)和所述基板(10)之间的范围。控制器(80)连接到照相机(2A-2H)的阵列(4)并连接到范围计算器(16)。控制器(80)被构造成将控制信号提供到至少一个聚焦致动器(9A-9H)中的每一个，以使阵列(4)的每一个照相机(A-2H)在相对运动过程中自适应聚焦。

主权项

一种用于检查基板的光学检查系统，所述系统包括：照相机阵列，所述照相机阵列被构造成当所述基板和所述照相机阵列相对于彼此进行相对运动时获取多组图像；至少一个聚焦致动器，所述至少一个聚焦致动器能够操作地连接到所述照相机阵列中的每一个照相机，以使每一个照相机的影响聚焦的至少一部分移动；基板距离计算器，所述基板距离计算器被构造成从所述照相机阵列接收至少一部分图像并计算所述照相机阵列与所述基板之间的距离；和控制器，所述控制器连接到所述照相机阵列并连接到所述距离计算器，所述控制器被构造成将控制信号提供给所述至少一个聚焦致动器中的每一个聚焦致动器，以在所述相对运动期间使所述照相机阵列中的每一个照相机都自适应聚焦；并且其中，所述距离计算器基于通过不同但相邻的照相机获取的图像的重叠区域中的立体差异计算距离。