涂层从金属层的选择性去除及其在太阳能电池上的应用

摘要

一种在衬底上形成金属膜图案的方法和生成的结构，包括：在衬底上形成金属膜图案；在衬底表面和金属膜图案上淀积涂层；采用激光辐射去除金属膜图案上的涂层。衬底和涂层并不与激光辐射显著地相互作用，并且激光辐射与金属膜图案和涂层相互作用，导致金属膜图案上的涂层去除。本发明提供一种形成用于太阳能电池的被介电涂层包围的金属图案的技术，在该太阳能电池中，介电涂层可用作前表面上的抗反射涂层、后表面上的内反射器，并且可进一步用作后续的在任一意表面上的金属图案电镀的介电阻挡层。

主权项

一种在衬底上形成金属膜图案的方法，包括：在衬底上形成金属膜图案；在衬底表面和金属膜图案上淀积涂层；采用激光辐射去除金属膜图案上的涂层。