大尺寸工件的三维表面形貌测量方法

摘要

大尺寸工件的三维表面形貌图像测量方法包括使用白光波长扫描干涉测量法扫描工件表面，白光波长扫描干涉测量法获取一系列子表面图像，扫描过程中被测工件沿蛇形运动，相邻的子表面图像之间有区域重叠，子表面图像组成序列表面形貌；寻找序列表面形貌之间的坐标位置和灰度级上的双重映射变换，使序列表面形貌在拓扑上和几何上对齐；用基于变换域的配准方法实现子表面图像的坐标精确配准；对相邻两个子表面图像中重叠区域的多组图像子表面图像数据采用小波变换的方法进行融合，将所有子表面图像融合成一张形貌图像。本发明具有既能获得大尺寸工件的完整的三维表面形貌信息，又使图像具有高横向分辨率信息的优点。

主权项

大尺寸工件的三维表面形貌图像测量方法，包括以下步骤：1）、使用白光波长扫描干涉测量法扫描工件表面，白光波长扫描干涉测量法获取一系列子表面图像，扫描过程中被测工件沿蛇形运动，相邻的子表面图像之间有区域重叠，子表面图像组成序列表面形貌；2）、寻找序列表面形貌之间的坐标位置和灰度级上的双重映射变换，使序列表面形貌在拓扑上和几何上对齐；用基于变换域的配准方法实现子表面图像的坐标精确配准，利用基于全局优化即最小化所有序列子表面图像重叠部分残差平方和的方法进行灰度配准；3）、对相邻两个子表面图像中重叠区域的多组图像子表面图像数据采用小波变换的方法进行融合，将所有子表面图像融合成一张形貌图像。