用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置

摘要

本实用新型涉及太阳能电池自动化设备技术领域，提供了一种用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置，该装置用于PECVD自动化设备上，包括用于拾取硅片的插片头组件、带动插片头组件沿Z轴旋转的Z轴旋转运动机构、带动Z轴旋转运动机构于竖直方向上下运动的Z轴直线运动机构、带动Z轴直线运动机构沿X轴向旋转的X轴旋转运动机构以及设于X轴旋转运动机构上方且可带动所述X轴旋转运动机构于前、后、左、右移动的XY水平移动机构。本实用新型中，这样，插片头组件在上述各机构带动下快速、精准完成硅片的自动装卸，而且上述各机构结构简单，在功能上可完全替代现有的高成本六轴精密机器人，大大降低了太阳能电池的制作成本，适合全面推广。

主权项

一种用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置，设于PECVD设备上，其特征在于：包括用于拾取硅片的插片头组件、带动所述插片头组件沿Z轴旋转的Z轴旋转运动机构、带动所述Z轴旋转运动机构于竖直方向上下运动的Z轴直线运动机构、带动所述Z轴直线运动机构沿X轴向旋转的X轴旋转运动机构以及设于所述X轴旋转运动机构上方且可带动所述X轴旋转运动机构于前、后、左、右移动的XY水平移动机构。