一种八梁对称硅微加速度计

摘要

本发明提供了一种八梁对称硅微加速度计。所述电容式微加速度计从上到下包括上硅电极板、敏感芯片和下硅电极板三部分。敏感芯片为“质量块—悬臂梁”微结构。悬臂梁总共八根，对称分部在质量块四周，质量块处于中间水平位置。质量块厚度和所采用硅片一致，形状为多边形以效地利用空间，使得质量得到了很大提高，可以获得较小的器件噪声和更大的灵敏度。微加速度计采用全硅工艺，硅电极板和敏感芯片通过硅-硅熔融键合，可以减少热膨胀系数不匹配等问题。通过双层SiO₂工艺,在硅片表面形成质量块和梁的图形,避免了深槽光刻。 本发明的八梁对称硅微加速度计具有较高稳定性，器件噪声小，提高了加速度测量精度。

主权项

一种八梁对称硅微加速度计，其特征在于：所述的微加速度计从上到下依次包括上硅电极板、敏感芯片、下硅电极板三部分；三部分通过硅—硅键合形成一个自封闭体系；在敏感芯片内部设置有感知惯性加速度的多边形质量块，在质量块四周对称分布着八根结构相同，位于多边形质量块厚度方向中心平面的悬臂梁，质量块通过悬臂梁连接在边框上；硅电极板和敏感芯片之间由二氧化硅绝缘，通过硅—硅熔融键合连接。