发明名称 |
感光性树脂组合物 |
摘要 |
本发明提供一种感光性树脂组合物。一种含有(A)成分、(B)成分以及溶剂的感光性树脂组合物。(A)成分:具有下述式(1)表示的结构单元以及下述式(2)表示的结构单元的共聚物,(B)成分:感光剂,<img file="DDA0000578163340000011.GIF" wi="1008" he="504" />式中,R<sub>0</sub>表示羟基或羧基,R<sub>1</sub>表示氢原子或甲基,R<sub>2</sub>表示单键或碳原子数1至5的亚烷基,R<sub>3</sub>表示具有热交联性的1价的有机基团。其中,多个上述式(2)表示的结构单元中R<sub>1</sub>彼此也可以相互不同。 |
申请公布号 |
CN104204947A |
申请公布日期 |
2014.12.10 |
申请号 |
CN201380017141.8 |
申请日期 |
2013.03.15 |
申请人 |
日产化学工业株式会社 |
发明人 |
安达勲;坂口崇洋;庄田浩之 |
分类号 |
G03F7/023(2006.01)I;C08F220/10(2006.01)I;C08F222/40(2006.01)I;G02B3/00(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/023(2006.01)I |
代理机构 |
北京市中咨律师事务所 11247 |
代理人 |
田欣;段承恩 |
主权项 |
一种感光性树脂组合物,其含有(A)成分、(B)成分以及溶剂,(A)成分:具有下述式(1)表示的结构单元以及下述式(2)表示的结构单元的共聚物,(B)成分:感光剂,<img file="FDA0000578163320000011.GIF" wi="1028" he="524" />式中,R<sub>0</sub>表示羟基或羧基,R<sub>1</sub>表示氢原子或甲基,R<sub>2</sub>表示单键或碳原子数1至5的亚烷基,R<sub>3</sub>表示具有热交联性的1价的有机基团,其中,多个上述式(2)表示的结构单元中R<sub>1</sub>彼此可以相互不同。 |
地址 |
日本东京都 |