| 发明名称 | 基板支撑装置、高温成膜工艺腔室及基板支撑杆 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及基板支撑技术领域，公开了一种基板支撑装置、高温成膜工艺腔室及基板支撑杆。所述基板支撑装置，包括多个基板支撑杆，每一个所述基板支撑杆朝向基板的一端的端面为凹凸面，所述凹凸面具有多个凸出的支撑面。在本实用新型技术方案中，由于基板支撑杆表面不是现有的平面形，而是具有多个支撑物，减小了与基板的接触面积，减少了热量的积累，因而减小了分子间作用力，从而减少了尖端颗粒，并且，多个支撑面之间具有凹陷部分，因而降低了尖端区与周围基板区的温度差异，进而减少了尖端斑点，因此，提高了产品的良率。 | ||
| 申请公布号 | CN203999810U | 申请公布日期 | 2014.12.10 |
| 申请号 | CN201420176154.1 | 申请日期 | 2014.04.11 |
| 申请人 | 北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 秦双亮;董杰;金相起;贠向南 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人 | 黄志华 |
| 主权项 | 一种基板支撑装置，其特征在于，包括多个基板支撑杆，每一个所述基板支撑杆朝向基板的一端的端面为凹凸面，所述凹凸面具有多个凸出的支撑面，所述凹凸面的支撑面与凹陷底面的距离为0.05～2毫米。 | ||
| 地址 | 100176 北京市大兴区经济技术开发区经海一路118号 | ||