| 发明名称 | 石墨舟 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种石墨舟，用于小管径等离子化学气相沉积，所述石墨舟具有多个石墨舟舟片，所述石墨舟的两侧最外层为两石墨舟舟片贴合在一起形成的双层结构。本实用新型的石墨舟，可使热场均匀，以减轻热场分布的影响，使炉管内沉积速率相近。 | ||
| 申请公布号 | CN203999811U | 申请公布日期 | 2014.12.10 |
| 申请号 | CN201420457835.5 | 申请日期 | 2014.08.14 |
| 申请人 | 内蒙古日月太阳能科技有限责任公司 | 发明人 | 张鸿飞;刘海平;杨志强;周国华;马承鸿;李健 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I;C23C16/513(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人 | 姜燕;王卫忠 |
| 主权项 | 一种石墨舟，用于小管径等离子化学气相沉积，所述石墨舟具有多个石墨舟舟片，其特征在于，所述石墨舟的两侧最外层为两石墨舟舟片贴合在一起形成的双层结构。 | ||
| 地址 | 010111 内蒙古自治区呼和浩特市如意开发工业新区 | ||