数字显微全息表面粗糙度测量系统

摘要

本实用新型涉及一种数字显微全息表面粗糙度测量系统，包括光源，所述光源的前方设置有扩束准直器件，在扩束准直器件的前方设置有分光镜，所述分光镜设置有两个输出端，其中一个输出端设置在分光镜的下方，分光镜的下方为载物台，另一个输出端设置在分光镜的一侧，该输出端的前端设置反光镜，所述分光镜的上方设置有CCD图像传感器。本实用新型克服了传统表面粗糙度测量方法中的固有缺陷，防止接触式测量方法触针圆弧半径大无法接触被测表面轮廓谷底，避免了触针划伤被测表面等问题；利用全新的数字全息技术作为基本原理，提升了表面粗糙度的测量范围，将原有的线测量方式转变为面测量方式，能够更加全面地反应整个被测表面的粗糙度分布情况。

主权项

一种数字显微全息表面粗糙度测量系统，包括光源，其特征是，所述光源的前方设置有扩束准直器件，在扩束准直器件的前方设置有分光镜，所述分光镜设置有两个输出端，其中一个输出端为物波输出端，设置在分光镜的下方，分光镜的下方为载物台，另一个输出端为光波输出端，设置在分光镜的一侧，该输出端的前端设置反光镜，所述分光镜的上方设置有CCD图像传感器，所述载物台为微动载物台，所述两个输出端还设置有显微物镜，其中物波输出端显微物镜用于放大被测表面，参考光波输出端显微物镜用于校正物波中所引入的二次项相位因子。２. 根据权利要求１所述的数字显微全息表面粗糙度测量系统，其特征是，所述显微物镜分别放置在反射镜的前面和被测物体的上表面，和CCD图像传感器之间具有相同的距离值。