大面积无掩膜板快速曝光的装置及其方法

摘要

本发明涉及大面积无掩膜板快速曝光的装置及方法，沿光路依次设置光源、准直镜、全反射镜和空间光调制器DMD，空间光调制器DMD的光路输出端布置有全反镜，全反镜的光路输出端衔接有双远心高速扫描系统，双远心高速扫描系统的光路输出端正对于载物平台；空间光调制器DMD、双远心高速扫描系统、载物平台与运动控制系统控制连接。采用数字式空间光调制器件DMD单元，能够灵活的得到需要曝光的图形；使用双远心扫描场镜，将DMD的图形通过场镜以快速扫描的形式曝光到感光基材上；同时平台配合扫描场镜进行联动，显著提高效率。本发明大面积无掩膜板快速曝光的装置，曝光灵活、效率高、耗材少。

主权项

大面积无掩膜板快速曝光的装置，其特征在于：包含沿光路依次设置的光源(1)、准直镜(3)、全反射镜(4)和空间光调制器DMD(5)，空间光调制器DMD(5)的光路输出端布置有全反镜(6)，全反镜(6)的光路输出端衔接有双远心高速扫描系统(8)，双远心高速扫描系统(8)的光路输出端正对于载物平台(11)；所述空间光调制器DMD(5)、双远心高速扫描系统(8)、载物平台(11)与运动控制系统(9)控制连接。