用于微机电的测量变换器的膜片装置和用于制造膜片装置的方法

摘要

本发明涉及一种微机电的膜片装置，所述微机电的膜片装置具有：基片，所述基片在表面上具有多个空隙；能够导电的第一电极层，所述第一电极层布置在所述基片的表面上并且所示第一电极层具有多个与所述空隙相一致的第一凹部；以及能够沿着与所述基片的有效的表面垂直的方向偏移的并且能够导电的膜片层，所述膜片层布置在所述第一电极层的上方并且以第一间距值与所述第一电极层隔开。

主权项

微机电的膜片装置（100、200、300、400、500），其具有：‑ 基片（4），所述基片在表面上具有多个空隙（4a）；‑ 能够导电的第一电极层（1），所述第一电极层布置在所述基片（4）的表面上并且所述第一电极层具有多个与所述空隙（4a）相一致的第一凹部（1a）；以及‑ 能够沿着与所述基片（4）的表面垂直的方向偏移的并且能够导电的膜片层（2、7），所述膜片层布置在所述第一电极层（1）的上方并且以第一间距值（x_G）与所述第一电极层（1）隔开。