表面性质和形状测定机和表面性质和形状测定方法

摘要

一种表面性质和形状测定机，具备：工作台、具有测头的接触式检测器(20)、图像探测器(30)、相对移动机构(40)和控制装置(50)。控制装置(50)包括：中心位置计算机构，其当通过图像探测器而被输入被测定物的圆形凹状部或圆形凸状部的圆形轮廓线中至少三点以上的位置数据时，对输入的位置数据适当配置圆并求圆的中心位置；测头设置机构，其在求出中心位置时则使相对移动机构动作，使接触式检测器的测头位于中心位置。

主权项

一种表面性质和形状测定机，测定被测定物的表面性质和形状，其特征在于，具备：承载所述被测定物的工作台、具有与所述被测定物表面接触的测头的接触式检测器、对所述被测定物的表面图像进行摄像的图像探测器、使所述接触式检测器和所述图像探测器与所述工作台相对移动的相对移动机构、偏置量存储机构、控制所述相对移动机构的驱动而且把由所述接触式检测器得到的测定数据和由所述图像探测器取得的图像数据进行处理的控制装置，所述接触式检测器的测头和所述图像探测器在它们任一个在测定时，把另一个偏置配置在不妨碍的位置，所述偏置量存储机构存储所述接触式检测器的测头前端和所述图像探测器的偏置量，所述控制装置包括：中心位置计算机构，其当通过所述图像探测器而被输入所述被测定物的圆形凹状部或圆形凸状部的圆形轮廓线中至少三点以上的位置数据时，对输入的位置数据适当配置圆并求中心位置；测头设置机构，其在所述中心位置计算机构求出中心位置时，使所述相对移动机构动作，使所述接触式检测器的测头位于所述中心位置，并且，使所述相对移动机构以存储在所述偏置量存储机构的偏置量进行动作而使所述接触式检测器的测头位于所述中心位置。