从多组分溶液输送工艺气体的方法

摘要

提供了一种方法和一种化学品输送系统。该方法包括提供一个多组分液体源的蒸气相。该方法进一步包括：使一种预装载的载气与该蒸气相相接触，其中该预装载的载气包括一种载气和该多组分液体源的至少一种组分；并且将一种包括该液体源的至少一种组分的气体流输送到一种关键工艺或应用中，其中，该组分在该载气中的量值是足以保持组分在该多组分液体源中的比率相对恒定。该化学品输送系统包括一个具有蒸气相的多组分液体源。该系统进一步包括一个预装载的载气源，该预装载的载气源是与该蒸气相处于流体接触，其中该预装载的载气包括一种载气和该液体源的至少一种组分；以及一种用于输送包括该液体源的至少一种组分的气体流的装置，其中该组分在该预装载的载气中的量值是足以保持组分在该多组分液体源中的比率相对恒定。

主权项

一种方法，包括：(a)提供一个多组分液体源的蒸气相；(b)使一种预装载的载气与该蒸气相相接触，其中该预装载的载气包括一种载气和该多组分液体源的至少一种组分；并且(c)将一种包括该液体源的至少一种组分的气体流输送到一种关键工艺或应用中；其中，该组分在该载气中的量值是足以保持组分在该多组分液体源中的比率相对恒定。