一种电渗驱动纳米压印装置

摘要

本实用新型公开了一种电渗驱动纳米压印装置，包括工作台、衬底、液态有机聚合物、模板、电场和压印机构，工作台上设有涂铺有液态有机聚合物的衬底，液态有机聚合物为极性液体或者电解液，具有低粘度，衬底上放置模板，模板上固定有压印机构，模板包括支撑层和特征结构层，支撑层在特征结构层之上，衬底与模板的支撑层之间连有直流电源，施加外加电场，电场强度300～800V/cm；本实用新型采用“电渗力”驱动提拉极性液体，在很小压印力作用下，通过向上提升的电渗力即能实现液态聚合物对于模具微纳米结构型腔的快速完全填充，变纳米压印“压力驱动”为“电渗力”驱动，液态聚合物对于模板微纳结构型腔填充由“压”模式转变为“拉”模式。

主权项

一种电渗驱动纳米压印装置，其特征是：包括工作台、衬底、液态有机聚合物、模板、电场和压印机构，所述工作台上设置有涂铺有液态有机聚合物的衬底，衬底上放置有模板，模板上端固定有压印机构，压印机构中设置有若干个置于模板正上方的紫外光光源，所述模板包括支撑层和特征结构层，支撑层在特征结构层之上，支撑层具有导电特性，特征结构层具有介电特性，并在特征结构层上设有微纳米特征结构，所述衬底与模板的支撑层之间连接有直流电源，施加外加电场，电场强度是300～800V/cm；所述液态有机聚合物为极性液体或者电解液，并具有低粘度，其pH值的范围：3<pH≤7。