发明名称 PITCH CHANGE DEVICE AND PITCH CHANGE METHOD
摘要 <p>이 피치 변환 장치 및 피치 변환 방법은, X 방향으로 병렬 배치된 복수의 구획 부재(90)의 피치를 변환하는 장치 및 방법이며, X 방향으로 병렬 배치되고, 인접하는 구획 부재(90) 사이에 진입하는 복수의 진입 부재(11)와, X 방향으로 이동하면서 복수의 진입 부재(11)를 차례로 압출하여 인접하는 구획 부재(90) 사이로 진입시키는 압출 부재(31)를 구비하고, 진입 부재(11)는, 인접하는 구획 부재(90) 사이로부터 퇴출되는 방향으로 가압되어 있다.</p>
申请公布号 KR101471738(B1) 申请公布日期 2014.12.10
申请号 KR20127032817 申请日期 2011.06.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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