| 摘要 |
<p>디스플레이 셀들을 검사하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는 기판 상에 형성된 복수의 디스플레이 셀들에 대한 검사 공정을 수행하기 위한 검사 챔버와, 상기 검사 챔버 내부에 배치되며 상기 디스플레이 셀들이 아래를 향하도록 상기 기판을 지지하는 기판 스테이지와, 상기 검사 챔버 내에 배치되며 상기 디스플레이 셀들에 대한 검사를 위하여 상기 디스플레이 셀들과 접촉하도록 구성된 프로브 카드와, 상기 검사 챔버와 연결된 기판 이송 챔버와, 상기 기판 이송 챔버 내부에 배치되며 상기 검사 챔버로 상기 기판을 이송하기 위한 기판 이송 로봇를 포함한다.</p> |
