| 发明名称 | 与间接的冷却装置相匹配的靶 | ||
| 摘要 | 本发明涉及靶，其构造为用于气相沉积方法的材料源、带有前侧和背侧，其特征在于，在背侧处粘有自粘性的碳薄膜。靶可构造为用于溅射方法和/或用于阴极火花蒸镀方法的材料源。特别有利地，靶用在带有间接的冷却部的涂覆源中，其中，自粘性的碳薄膜与膜片处于面接触中，膜片为冷却通道的部件。 | ||
| 申请公布号 | CN104204286A | 申请公布日期 | 2014.12.10 |
| 申请号 | CN201380018809.0 | 申请日期 | 2013.03.05 |
| 申请人 | 欧瑞康贸易股份公司（特吕巴赫） | 发明人 | S.克拉斯尼策尔;J.哈格曼 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 陈浩然;李婷 |
| 主权项 | 一种靶，其构造为用于气相沉积方法的材料源、带有前侧和背侧，其特征在于，在所述背侧处粘有自粘性的碳薄膜。 | ||
| 地址 | 瑞士特吕巴赫 | ||