一种高精度气电测量一体化设备

摘要

本实用新型公开了一种高精度气电测量一体化设备，所述高精度气电测量一体化设备，包括气体稳压装置、气电转换器及信号处理器；所述气体稳压装置设置有可与外部压缩气源相连的进气孔；所述气电转换器设置有可与外部气动测量头配套连接的出气孔；所述信号处理器设置有输出端口；所述气体稳压装置与气电转换器通过气体管路连接，气电转换器与信号处理器通过信号线路连接；所述气体稳压装置还设置有气体流量调节装置及气体压力调节装置。所述高精度气电测量一体化设备测量精度高，测量精度可达0.1μm；可以根据用户特殊化测量需求，配套使用各类气动测量头及处理终端；并且设备体积小巧、安装方便，可节省用户组装成本。

主权项

一种高精度气电测量一体化设备，其特征在于：包括气体稳压装置、气电转换器及信号处理器；所述气体稳压装置设置有可与外部气源相连的进气孔；所述气电转换器设置有可与外部气动测量头配套连接的出气孔；所述信号处理器设置有输出端口；所述气体稳压装置与气电转换器通过气体管路连接，气电转换器与信号处理器通过信号线路连接。