一种硅片开沟装置

摘要

本实用新型的一种硅片开沟装置，包括酸槽、防酸花篮、支撑架，支撑架包括底板、顶板以及连接在底板和顶板之间的侧板，酸槽底部设置有滚轮，底板上铺设有与滚轮相配合的滑槽；侧板外侧设置有气缸，气缸的活塞杆水平穿过侧板并与酸槽相连接；顶板上设置有竖直向下的悬臂，悬臂末端设置有花篮挂钩，防酸花篮顶部设置有与花篮挂钩配合的钩环；悬臂包括固定在顶板上的套筒和穿在套筒内的连杆，套筒和连杆上均开有若干上下并排的定位孔，套筒和连杆上对齐的定位孔中穿有定位销。本实用新型的有益效果是：保证酸槽中混酸液温度的均匀，从而免去了操作人员的重复劳动，节省了人力。

主权项

一种硅片开沟装置，包括酸槽和防酸花篮，其特征在于：还包括支撑架，所述支撑架包括底板、顶板以及连接在底板和顶板之间的侧板，所述酸槽底部设置有滚轮，底板上铺设有与滚轮相配合的滑槽；侧板外侧设置有气缸，所述气缸的活塞杆水平穿过侧板并与酸槽相连接；顶板上设置有竖直向下的悬臂，所述悬臂末端设置有花篮挂钩，防酸花篮顶部设置有与花篮挂钩配合的钩环；所述悬臂包括固定在顶板上的套筒和穿在套筒内的连杆，所述套筒和连杆上均开有若干上下并排的定位孔，套筒和连杆上对齐的定位孔中穿有定位销。