| 发明名称 | 四甲基氢氧化铵无水剥离液 | ||
| 摘要 | 本发明涉及四甲基氢氧化铵无水剥离液，主要由四甲基氢氧化铵、没食子酸丙酯、有机溶剂组成，其中，各组份之间的比例为四甲基氢氧化铵：没食子酸丙酯：有机溶剂=3～7：3：17。有机溶剂为一种或两种有机溶剂混合组成。有机溶剂为二甲基亚砜。有机溶剂为E200溶剂。其中，四甲基氢氧化铵无水剥离液的制备方法包括以下步骤：1、制备四甲基氢氧化铵/没食子酸丙酯混合溶液；2、将步骤1中的混合溶液与其它有机溶剂混合，通风搅拌30分钟；3、将步骤2中的混合溶液经过0.2μm过滤。四甲基氢氧化铵无水剥离液的使用温度为40℃～60℃。 | ||
| 申请公布号 | CN104195560A | 申请公布日期 | 2014.12.10 |
| 申请号 | CN201410457193.3 | 申请日期 | 2014.09.10 |
| 申请人 | 昆山欣谷微电子材料有限公司 | 发明人 | 曹大妹 |
| 分类号 | C23F1/42(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 四甲基氢氧化铵无水剥离液，主要由四甲基氢氧化铵、没食子酸丙酯、有机溶剂组成，其中，各组份之间的比例为四甲基氢氧化铵：没食子酸丙酯：有机溶剂=3～7：3：17。 | ||
| 地址 | 215341 江苏省苏州市昆山市千灯镇秦峰北路219号 | ||