一种传感器

摘要

本发明提供了一种传感器，属于传感器领域。本传感器包括三角测距传感部分和偏轴光束位移传感部分，三角测距传感部分包括双路分光镜一，位于双路分光镜一的一光路上的反射镜和能够接收该光路的电荷耦合器件，偏轴光束位移传感部分包括双路分光器一，位于双路分光器一另一光路上的双路分光器二和双路分光器二两侧的物镜和场镜以及二象限光电池，双路分光镜一通激光束，分频后一路被反射镜反射到被测物，其反射光被电荷耦合器件接收形成光斑，一路经双路分光镜二、物镜聚焦在被测物，其反射光束经物镜、双路分光镜二、场镜后聚焦在二象限光电池形成光斑。本传感器的调整功能具有自动化、智能化程度强的优点。

主权项

一种传感器，其特征在于，包括三角测距传感部分和偏轴光束位移传感部分，所述三角测距传感部分包括双路分光镜一，位于所述双路分光镜一的一光路上的反射镜和能够接收该光路的电荷耦合器件，所述偏轴光束位移传感部分包括上述双路分光器一，位于上述双路分光器一另一光路上的双路分光器二和位于所述双路分光器二两侧的物镜和场镜以及二象限光电池，当对双路分光镜一通激光束，分频后一路被所述反射镜反射到被测物上，其反射光被电荷耦合器件接收形成光斑，另一路经双路分光镜二、物镜后聚焦在被测表面上，其反射光束经物镜、双路分光镜二、场镜后聚焦在二象限光电池上形成光斑。