发明名称 |
液体供给装置和光刻胶涂布设备 |
摘要 |
本实用新型提供一种液体供给装置和光刻胶涂布设备。该液体供给装置包括用于存储液体的桶体以及插伸进入所述桶体内部的液体传输管路,其中所述液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构,所述液体传输管路位于所述桶体内部的管口与所述桶体的内壁抵压连接。本实用新型通过在液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构,当桶体变形时利用弹性伸缩结构部分的弹性而伸长保证使管口保持与桶体的内壁抵接状态,管口始终位于桶体内液体的液面以下,实现液体的持续输出,避免现有技术桶内所存储的液体不能充分利用的问题。 |
申请公布号 |
CN204009352U |
申请公布日期 |
2014.12.10 |
申请号 |
CN201420287261.1 |
申请日期 |
2014.05.30 |
申请人 |
北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
由振琪;王建峰;祝磊;蔺连杰;吴凯民 |
分类号 |
G03F7/16(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/16(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
许静;黄灿 |
主权项 |
一种液体供给装置,包括用于存储液体的桶体以及插伸进入所述桶体内部的液体传输管路,其特征在于,所述液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构,所述液体传输管路位于所述桶体内部的管口与所述桶体的内壁抵压连接。 |
地址 |
100176 北京市经济技术开发区经海一路118号 |