光电元件及其制造方法

摘要

本发明公开了一种光电元件及其制造方法。该光电元件包含：基板，具有表面，并具有与表面垂直的法线方向，第一半导体层，位于基板的表面上并与表面接触，及至少一孔洞结构，位于第一半导体层及基板的表面之间，其中，至少一孔洞结构具有宽度与高度，其中宽度为孔洞结构于平行表面方向的最大尺寸，高度为孔洞结构于平行法线方向的最大尺寸，且高度小于宽度。

主权项

一种光电元件，包含：基板，具有一表面，并具有与该表面垂直的法线方向；第一半导体层，位于该基板的该表面上并与该表面接触；及至少一孔洞结构，位于该第一半导体层及该基板的该表面之间，其中，该至少一孔洞结构具有宽度与高度，其中该宽度为该孔洞结构于平行该表面方向的最大尺寸，该高度为该孔洞结构于平行该法线方向的最大尺寸，且该高度小于该宽度，而且该孔洞结构为中空结构。