真空处理装置

摘要

将包含在真空室中的加工室的排气开口通过包括波纹管的连接器连接到排气管道上，上述波纹管用其连接到排气管道上的一端固定到外壳上，而其相对端包含用于连接到环绕排气开口的连接环上的连接管，连接管弹性地偏向排气开口。连接管能在它处于与连接环接触的连接状态和通过促动器在垂直于排气开口的轴向方向上可往复运动的分开状态之间移动。为了实现与加工室的气密式连接，连接管具有侧向活动这样以便当在连接状态下连接管的锥形表面接触连接环上的互补式锥形表面时它能与连接环对准。促动器包括两个杆，该两个杆贯穿连接管的向外延伸的夹持环的钻孔延伸并这样与连接管相互作用以便将连接管的侧向位置固定处于分开状态。

主权项

真空处理装置，包括：加工室，包含上述加工室的真空室，在真空室外部的排气管道，具有外壳、导管、促动器的连接器，上述导管用于将被接触环环绕的加工室的排气开口与排气管道连接，其中该导管包括在轴向方向上延伸并包含用于将导管面向排气开口的远端用气密方式连接到接触环上的连接管的波纹管，而其中该波纹管在导管的相对的近端处固定到外壳上并同等地用气密方式连接到排气管道上，而上述促动器用于使导管在连接管接触接触环的连接状态和在波纹管收缩的情况下连接环是在距接触环一轴向距离处的分开状态之间转换，其中促动器在轴向方向上可往复运动并与连接管协作以便在连接状态下允许连接管在垂直于轴向方向的侧向方向上至少有限的活动。