| 主权项 |
EB炉预热过程中电子束扫描图案的方法，其特征在于，将预热过程电子束扫描图案设置为2个阶段；整个预热过程需要28～30分钟；采用从中心向四周逐步预热的方式；其步骤为：1）初始阶段：当真空及其他条件达到发射电子束的要求时，启动1#，2#电子枪并发射电子束对熔炼区及精炼区上半区进行预热；启动3#枪对精炼区下半区进行预热；初始阶段的预热时间为10～15分钟；电子束扫描图案相应设计为：1#枪4组图案：预热1，预热2，预热3，预热4；每一组图案的大小为整个熔炼区大小的1/16；将4组图案以熔炼区中心点为基准点对称摆放；2#枪5组图案：预热1，预热2；精炼1，精炼2，精炼3；预热1、预热2图案的大小为整个熔炼区大小的1/16；将预热1、预热2图案以溢流口为基准依次向熔炼区方向摆放；精炼1、精炼2、精炼3图案的大小为整个精炼区大小的1/8；将精炼1、精炼2、精炼3图案以溢流口为基准依次向精炼区方向摆放；3#枪5组图案：精炼1，精炼2，精炼3，精炼4，精炼5；每一组图案的大小为整个精炼区大小的1/8；将5组图案沿2#枪精炼2图案下边沿依次向下摆放；2）预热阶段：当初始阶段完成后，转为预热阶段，此阶段负责将熔炼区和精炼区完全预热好，保证下一步正常熔炼的进行；此阶段需在现有图案中添加新的图案，并且需要调整前一阶段每组图案的大小；此阶段需15～20分钟；电子束扫描图案相应设计为：1#枪5组图案：预热1，预热2，预热3，预热4，熔炼1；将每一组图案大小调整为熔炼区大小的1/5；将4组预热图案以熔炼区中心点为基准点对称摆放；熔炼1则根据实际情况在熔炼区游走，无固定位置；2#枪7组图案：预热1，预热2；精炼1，精炼2，精炼3，熔炼2，溢流1；将预热1、2及熔炼2图案的大小调整为整个熔炼区大小的1/8；将预热1、2图案以溢流口为基准依次向熔炼区方向摆放；精炼1、2、3图案的大小为整个精炼区大小的1/8；将精炼1、2、3图案以溢流口为基准依次向精炼区方向摆放；熔炼2则根据实际情况在熔炼区游走，无固定位置；溢流1放在溢流口处，大小保持覆盖整个溢流口；3#枪5组图案：精炼1，精炼2，精炼3，精炼4，精炼5；每一组图案的大小为整个精炼区大小的1/8；将5组图案沿2#枪精炼2图案下边沿依次向下摆放。 |
