发明名称 玻璃基板表面研磨方法
摘要 本发明涉及一种玻璃基板表面研磨方法,是先将待研磨的玻璃基板固定于旋转座上,使旋转座旋转带动玻璃基板旋动,而旋转座上方设置有研磨装置,研磨装置为枢设有研磨盘,研磨盘的直径至少等于待研磨的玻璃基板最长边的长度,且研磨盘周边两侧分别设置有起始点与终止点,当研磨盘对玻璃基板进行研磨时,先使研磨盘抵压至玻璃基板表面,并让研磨盘的起始点重迭于玻璃基板于旋转时的中心轴,再使研磨盘横向位移,并于研磨盘的终止点重迭玻璃基板的中心轴时,再将研磨盘抬离玻璃基板表面,进而让玻璃基板表面的波浪纹可有效的去除,并可防止玻璃基板中心处产生研磨不良的问题,以提高玻璃基板的研磨质量以及产品良率。
申请公布号 CN102922409B 申请公布日期 2014.12.10
申请号 CN201110226713.6 申请日期 2011.08.09
申请人 劲耘科技股份有限公司 发明人 陈志士
分类号 B24B37/04(2012.01)I 主分类号 B24B37/04(2012.01)I
代理机构 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 代理人 孙皓晨
主权项 一种玻璃基板表面研磨方法,将待研磨的玻璃基板固定于旋转座上,使旋转座于旋转时带动玻璃基板旋动,而旋转座上方设置有研磨装置,研磨装置为枢设有研磨盘,研磨盘的直径至少等于待研磨的玻璃基板最长边的长度,且研磨盘周边两侧分别设置有起始点与终止点,且起始点与终止点所连成的直线为通过研磨盘的轴心;先使研磨盘抵压至玻璃基板表面,并让研磨盘的起始点重迭于玻璃基板于旋转时的中心轴,再使研磨盘横向位移,位移方向为研磨盘的轴心朝向玻璃基板的中心轴直线位移,当研磨盘的轴心通过玻璃基板的中心轴后,且研磨盘的终止点重迭玻璃基板的中心轴时,再将研磨盘抬离玻璃基板表面,即完成玻璃基板表面的研磨。
地址 中国台湾台南县